Рассматриваются актуальные вопросы формирования потоков газовой и металлической плазмы, равномерность их распределения в рабочем объеме камер вакуумных установок, а также изменения конденсата металлической плазмы при формировании структур и свойств модифицированных поверхностных слоев, однослойных, многослойных, градиентных нано-структурных покрытий при вакуумной ионно-плазменной обработке. Для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки магистров "Материаловедение и технологии материалов". Это и многое другое вы найдете в книге Вакуумная ионно-плазменная обработка. Учебное пособие (А. А. Ильин, В. В. Плихунов, Л. М. Петров, В. С. Спектор)