В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС). Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники. Учебник предназначен для студентов технических вузов и университетов, изучающих микроэлектронику. Это и многое другое вы найдете в книге Основы микроэлектроники (И. Е. Ефимов, И. Я. Козырь)