В книге рассматриваются физико-химические основы технологических процессов производства РЭА, начиная с интегральных элементов и кончая сложными функциональными устройствами и комплексами; описываются теоритические закономерности основных процессов, на которых базируются современные методы формирования микроэлектронных структур и печатных узлов РЭА. Это и многое другое вы найдете в книге Физико-химические процессы в технологии РЭА (В. Н. Черняев)