Книга посвящена изготовлению и применению диэлектрических пленок в микроэлектронной аппаратуре, кратко рассмотрены методы получения диэлектрических пленок из различных классов неорганических (окислов, нитридов, фторидов) и органических веществ и принципиальные схемы применяемых для этой цели установок. Приведены основные диэлектрические параметры пленок в зависимости от технологических режимов их изготовления. Рассмотрены характеристики диэлектрических пленок, обеспечивающие их использование в многослойных системах.Издательство: Энергия Это и многое другое вы найдете в книге Диэлектрики интегральных схем (Е. И. Шнаревич, О. А. Рыбинский, В. А. Злобин)